Waferpoliervorrichtung und -verfahren
EP1495838
Art B1
17. Oktober 2007
Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1495838
- Aktenzeichen
- EP04014353
- Anmeldetag
- 15. März 2000
- Veröffentlichung
- 17. Oktober 2007
- Erteilung
- 17. Oktober 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B41/06B24B57/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Ebara Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München