Spattervorrichtung, Verfahren zur Herstellung von Dünnfilm durch Spattern und Verfahren zur Herstellung von Scheibenförmigem Aufzeichnungsmedium unter Verwendung der Vorrichtung

EP1496135 Art A1 12. Januar 2005

Anmelder: TDK Corporation 🇯🇵

Details

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🇯🇵 TDK Corporation

TDK Corporation ist ein japanischer Hersteller elektronischer Bauteile, bekannt für Kondensatoren, Sensoren, Batterien und Magnetwerkstoffe.

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Akustik, Musik & Datenspeicherung Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Grünecker, August, Dipl.-Ing München, Deutschland

229

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Fachgebiete

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Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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