Vakuumpumpe und Halbleiterherstellungsgerät
EP1496263
Art A3
10. Februar 2010
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1496263
- Aktenzeichen
- EP04016346
- Anmeldetag
- 12. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 10. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D17/16F04D29/058F04D29/26F04D29/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Geyer, Ulrich F
München, Deutschland
481
Patente gesamt
29
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Geyer, Ulrich F., Dr. Dipl.-Phys
NoneMünchen