Vakuumpumpe und Halbleiterherstellungsgerät

EP1496263 Art A3 10. Februar 2010

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1496263
Aktenzeichen
EP04016346
Anmeldetag
12. Juli 2004
Veröffentlichung
10. Februar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D17/16F04D29/058F04D29/26F04D29/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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