Spiegel und Lithographiegerät mit Spiegel
EP1496521
Art A1
12. Januar 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1496521
- Aktenzeichen
- EP03077155
- Anmeldetag
- 9. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/06G02B1/00G02B5/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Jorritsma, Ruurd
Den Haag, Niederlande
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