Verfahren und Vorrichtung zum Erwärmen einer Polierscheibe
EP1497076
Art A1
19. Januar 2005
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1497076
- Aktenzeichen
- EP03716874
- Anmeldetag
- 28. März 2003
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B49/00B24B1/00B24B29/00B24B21/00B24B21/02B24B55/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Dendorfer & Herrmann
München, Deutschland
Münchner Kanzlei in unmittelbarer Nähe zu DPMA und Europäischem Patentamt, verbindet akademische Expertise mit rechtlichem und sprachlichem Können. Mitgründer Dr. Franz Herrmann promovierte in Physik an der LMU in Kooperation mit dem Max-Planck-Institut, UC Berkeley und NASA Ames.
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