Verfahren zum Abscheiden dünner Schichten auf einem Substrat in einer höhenverstellbaren Prozesskammer
EP1497481
Art B1
17. Juni 2015
Anmelder: Aixtron SE, AIXTRON AG, Aixtron AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1497481
- Aktenzeichen
- EP03725039
- Anmeldetag
- 16. April 2003
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2015
- Erteilung
- 17. Juni 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Aixtron SE
AIXTRON AG
Aixtron AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Kanzlei
Rieder & Partner mbB
Wuppertal, Deutschland
Die Wuppertaler Kanzlei geht auf Johannes Rieder zurück, der schon vor dem ersten deutschen Patentanwaltsgesetz von 1900 als Berater für Erfinder tätig war. Mit über hundertjähriger Kontinuität am Standort zählt sie zu den traditionsreichsten Patentanwaltspraxen im Bergischen Land.
2.665
Patente gesamt
3
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Grundmann, Dirk, Dr
NoneWuppertal