Verfahren und Vorrichtung zur Vereinfachten Systemkonfiguration

EP1497701 Art B1 31. Mai 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1497701
Aktenzeichen: EP03747271
Anmeldetag: 8. April 2003
Veröffentlichung: 31. Mai 2006
Erteilung: 31. Mai 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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