Vertikal-Wärmebehandlungsgerät
EP1498937
Art A1
19. Januar 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1498937
- Aktenzeichen
- EP03715534
- Anmeldetag
- 27. März 2003
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205H01L21/31H01L21/22H01L21/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Gleiss, Alf-Olav
Stuttgart, Deutschland
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