Verfahren zum Herstellen von Mikrolochstrukturen

EP1499926 Art A1 26. Januar 2005

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Frauenhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1499926
Aktenzeichen
EP03725097
Anmeldetag
25. April 2003
Veröffentlichung
26. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20B01D29/00B01D71/04B81B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Frauenhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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