Verfahren und Vorrichtung zur Durchfluss- und Konzentrationssteuerung Ozonisierten Wassers
EP1499934
Art B1
21. Mai 2008
Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC., APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1499934
- Aktenzeichen
- EP03733897
- Anmeldetag
- 25. April 2003
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2008
- Erteilung
- 21. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC.
APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Vertreten von
Power, Philippa Louise
London, Großbritannien
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