Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1500979
Art A1
26. Januar 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1500979
- Aktenzeichen
- EP03077297
- Anmeldetag
- 21. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 26. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
van der Arend, Adrianus G.A
Rijswijk, Niederlande
21
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14
Fachgebiete
5
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