Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elementes aus Quarzsubstrat

EP1502132 Art A1 2. Februar 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1502132
Aktenzeichen
EP03725056
Anmeldetag
17. April 2003
Veröffentlichung
2. Februar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/18G03F1/14G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Kanzlei
Lorenz & Kollegen Heidenheim, Deutschland

Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.

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