Photolithographische Maske mit Eingebetteten Phasenschiebern Und/oder Absorbierenden Elementen
EP1502153
Art A2
2. Februar 2005
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1502153
- Aktenzeichen
- EP03749925
- Anmeldetag
- 6. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Poulin, Gérard
Paris, Frankreich
1.981
Patente gesamt
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19
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Schwerpunkte