Strukturierung von Solid-State-Merkmalen durch Nanolithographisches Direktschreibedrucken

EP1502154 Art B1 18. Februar 2009

Anmelder: Northwestern University, NORTHWESTERN UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1502154
Aktenzeichen
EP02798520
Anmeldetag
17. Dezember 2002
Veröffentlichung
18. Februar 2009
Erteilung
18. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00B82B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Northwestern University
NORTHWESTERN UNIVERSITY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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