Ionenquelle zur Erzeugung eines Bandförmigen Ionenstrahles mit Regelbarer Dichteverteilung
EP1502278
Art A1
2. Februar 2005
Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1502278
- Aktenzeichen
- EP03721934
- Anmeldetag
- 29. April 2003
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Burke, Steven David
London, Großbritannien
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