Lithographielaser mit Strahlablieferungs- und Strahlrichtungssteuerung

EP1502288 Art A2 2. Februar 2005

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1502288
Aktenzeichen: EP03755348
Anmeldetag: 5. Mai 2003
Veröffentlichung: 2. Februar 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G03F7/20H01S3/22H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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