Infrarot-Thermopile-Detektorsystem für die Halbleiterprozessüberwachung und -Regelung
EP1502289
Art A2
2. Februar 2005
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1502289
- Aktenzeichen
- EP03765426
- Anmeldetag
- 5. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/35H01L21/66G01J3/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Kanzlei
Kanzlei Huber & Schüssler
München, Deutschland
1996 von Dr. Bernard Huber und Dr. Andrea Schüssler gegründete Patentanwaltskanzlei mit Sitz in München, berät umfassend zu Patenten, Marken, Designschutz und Urheberrecht.
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