Verfahren zum Herstellen Flacher Ubergänge mit Niedirigem Widerstand mit Niedriger Beschädigung
EP1502294
Art A2
2. Februar 2005
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1502294
- Aktenzeichen
- EP03741784
- Anmeldetag
- 8. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/324H01L21/268H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
690 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
871
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte