Verfahren zur Messung der Widerstehspannung eines Halbleiter-Epitaxial-Wafers und Halbleiter-Epitaxial-Wafer

EP1503408 Art A1 2. Februar 2005

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd., SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1503408
Aktenzeichen: EP03703038
Anmeldetag: 23. Januar 2003
Veröffentlichung: 2. Februar 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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