Verfahren zur Härtung von Filmen Niedriger Dielektrizitätskonstante mit einem Elektronenstrahl
EP1504138
Art A2
9. Februar 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1504138
- Aktenzeichen
- EP03731108
- Anmeldetag
- 7. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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