Apparat und Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten.
EP1505173
Art B1
13. April 2016
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1505173
- Aktenzeichen
- EP04405492
- Anmeldetag
- 4. August 2004
- Veröffentlichung
- 13. April 2016
- Erteilung
- 13. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan