Messverfahren und Messvorrichtung
EP1505368
Art A1
9. Februar 2005
Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD., Tosei Engineering Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1505368
- Aktenzeichen
- EP04254563
- Anmeldetag
- 29. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B21/10G01B21/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Tosei Engineering Corp. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
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Stevens, Jason Paul
London, Großbritannien
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