Lochmaske, Gerät zur Bestrahlung mit geladenen Teilchen und entsprechende Methode

EP1505438 Art A3 11. Januar 2006

Anmelder: Sony Corporation, Kabushiki Kaisha Toshiba, ULVAC, INC., SONY CORPORATION, Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1505438
Aktenzeichen: EP04017540
Anmeldetag: 23. Juli 2004
Veröffentlichung: 11. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/16G03F7/20H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sony Corporation
Kabushiki Kaisha Toshiba
ULVAC, INC.
SONY CORPORATION
Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sony Group

Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.

30.400 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

5.205 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von