Ladungsträgerteilchenstrahlbelichtungs- Verfahren und -Gerät und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen mittels eines solchen Gerätes
EP1505630
Art B1
18. November 2015
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1505630
- Aktenzeichen
- EP04254551
- Anmeldetag
- 29. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 18. November 2015
- Erteilung
- 18. November 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CANON KABUSHIKI KAISHA
Hitachi High-Technologies Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
3.840 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
TBK · München
-
TBK-Patent
TBK-Patent · München