Polierfluid und Polierverfahren

EP1505639 Art B1 6. August 2008

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1505639
Aktenzeichen
EP03719239
Anmeldetag
28. April 2003
Veröffentlichung
6. August 2008
Erteilung
6. August 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304B24B37/00B24B57/02C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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