Verfahren zum Behandeln eines Substrats
EP1505641
Art A1
9. Februar 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1505641
- Aktenzeichen
- EP03749985
- Anmeldetag
- 28. März 2003
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/318H01L29/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Urquhart-Dykes & Lord LLP
Britische Traditionskanzlei, deren Wurzeln in zwei Londoner und Leedser Patentagenturen der 1870er-Jahre liegen, 1946 zusammengeführt. Seit 2021 Teil der schottischen Kanzlei Murgitroyd, deckt Patente, Marken und Designs bis zur Litigation ab.
4.055
Patente gesamt
7
Patentanwälte
4
Standorte
Weitere Vertreter
-
Rees, Alexander Ellison
NoneLondon