Vorrichtung und Verfahren zur Erhöhung des Stofftransports an einer Flüssigkeit/feststoff-Diffusionsgrenzschicht

EP1506056 Art A1 16. Februar 2005

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1506056
Aktenzeichen
EP03722015
Anmeldetag
2. Mai 2003
Veröffentlichung
16. Februar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B01J35/02C25B9/00C25B13/00C25C7/04F24J1/00H01M2/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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