System und Vorrichtung zur Kontrolle von Sputterbeschichtungsverfahren

EP1506325 Art A2 16. Februar 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Films Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1506325
Aktenzeichen
EP03731194
Anmeldetag
16. Mai 2003
Veröffentlichung
16. Februar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/54C23C14/35H01J37/32H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
Applied Films Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Kanzlei
Iridium IP Mannheim, Deutschland

Iridium IP, Patentanwaltskanzlei in Mannheim unter Leitung von Dr. Armin Hamel, europäischer Patentanwalt, vertritt vor dem Europäischen Patentamt sowie als Marken- und Designvertreter, deckt Patent-, Marken-, Lizenz- und Urheberrecht ab.

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