Verfahren zur Gezielten Deformation eines Optischen Elements
EP1506455
Art A2
16. Februar 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1506455
- Aktenzeichen
- EP03730047
- Anmeldetag
- 15. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B7/18G02B26/08G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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