Indirekt Geheizte Kathodenionenquelle
EP1506559
Art A1
16. Februar 2005
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1506559
- Aktenzeichen
- EP03755430
- Anmeldetag
- 22. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J1/26H01J27/08H01J1/20H01J27/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
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