Stabilierung Elektronegativer Plasmen mittels Rückkopplungs-Regelung von Rf-Generator-Systemen
EP1506562
Art A1
16. Februar 2005
Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC., Applied Science and Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1506562
- Aktenzeichen
- EP03728897
- Anmeldetag
- 14. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS INSTRUMENTS, INC.
Applied Science and Technology, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Power, Philippa Louise
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