Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Oberflächeneigenschaft einer Substratprobe unter Verwendung eines Differenz-Interferenz-Kontrastmikroskops
EP1508034
Art A1
23. Februar 2005
Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1508034
- Aktenzeichen
- EP03755436
- Anmeldetag
- 22. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 23. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01N21/95G01N21/57G02B21/00G02B21/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Honeywell International Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Honeywell
US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.
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Haley, Stephen
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