Vorrichtung zur Messung des Gesamtdruckes und des Partialdruckes mit einem Einzigen Elektronenstrahl

EP1508154 Art B1 30. September 2015

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1508154
Aktenzeichen
EP02756087
Anmeldetag
28. Mai 2002
Veröffentlichung
30. September 2015
Erteilung
30. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J41/04H01J49/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon, Inc.
Land
🇺🇸 USA

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