Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen von der Leistung einer Werkzeugmaschine

EP1508159 Art A2 23. Februar 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1508159
Aktenzeichen: EP03736746
Anmeldetag: 28. Mai 2003
Veröffentlichung: 23. Februar 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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