Vorrichtung zur Verminderung von Überschlägen in einer Plasma-Bearbeitungskammer
EP1509942
Art B1
24. Februar 2016
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1509942
- Aktenzeichen
- EP03726570
- Anmeldetag
- 1. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 24. Februar 2016
- Erteilung
- 24. Februar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.727 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Browne, Robin Forsythe
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