Vorrichtung zur Verminderung von Überschlägen in einer Plasma-Bearbeitungskammer

EP1509942 Art B1 24. Februar 2016

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1509942
Aktenzeichen
EP03726570
Anmeldetag
1. Mai 2003
Veröffentlichung
24. Februar 2016
Erteilung
24. Februar 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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