Transresistanzverstärker für einen Detektor für Geladene Teilchen

EP1510002 Art B1 11. August 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT Limited, Leo Electron Microscopy Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1510002
Aktenzeichen
EP03727668
Anmeldetag
15. Mai 2003
Veröffentlichung
11. August 2010
Erteilung
11. August 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H03F3/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT Limited
Leo Electron Microscopy Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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