Heizmodul für ein Halbleiterherstellungssystem
EP1511069
Art A1
2. März 2005
Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd., SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1511069
- Aktenzeichen
- EP03757191
- Anmeldetag
- 19. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 2. März 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/68C23C16/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Sumitomo Electric Industries, Ltd.
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Electric Industries
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.
11.182 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
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17
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