Auf Druck Basierendes Gaszufuhrsystem und Verfahren zur Reduzierung von mit der Lagerung und Zufuhr von Hochdruckgasen Verbundenen Gefahren

EP1511583 Art B1 23. März 2011

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1511583
Aktenzeichen
EP03736812
Anmeldetag
29. Mai 2003
Veröffentlichung
23. März 2011
Erteilung
23. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B08B9/027B08B5/00G05B11/01G06F15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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