Mehrteilige Elektrode für einen Plasmareaktor zur Halbleiterbehandlung, sowie Verfahren zum Ersetzen eines Teiles einer Mehrteiligen Elektrode
EP1512164
Art B1
6. Januar 2016
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1512164
- Aktenzeichen
- EP03729095
- Anmeldetag
- 23. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2016
- Erteilung
- 6. Januar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.726 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Diehl & Partner GbR
Diehl & Partner GbR · München
-
Diehl, Hermann O. Th
NoneMünchen
-
Diehl, Hermann, Dr. Dipl.-Phys
NoneMünchen