Hafniumnitrid-Pufferschichten für Wachstum von Gan auf Silicium

EP1512171 Art A2 9. März 2005

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1512171
Aktenzeichen
EP03799787
Anmeldetag
16. Mai 2003
Veröffentlichung
9. März 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/302H01L21/461
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Regents of the University of California
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of California

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