Integrierte Schrittweise Statistische Prozesssteuerung in einem Plasmaverarbeitungssystem
EP1512174
Art A1
9. März 2005
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1512174
- Aktenzeichen
- EP03757257
- Anmeldetag
- 6. Mai 2003
- Veröffentlichung
- 9. März 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Browne, Robin Forsythe
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