Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Metall-Schichten

EP1512769 Art B1 16. September 2009

Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1512769
Aktenzeichen
EP04026950
Anmeldetag
4. März 2003
Veröffentlichung
16. September 2009
Erteilung
16. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/08C23C16/44C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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