Maske und diese verwendende Vorrichtung zur Vorbereitung von Proben durch Ionenbeschuss

EP1512957 Art B1 4. Januar 2012

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd., Jeol Ltd., Jeol Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1512957
Aktenzeichen
EP04255023
Anmeldetag
20. August 2004
Veröffentlichung
4. Januar 2012
Erteilung
4. Januar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/32H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Jeol Engineering Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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