Verfahren zur Herstellung eines Silizium-Wafers

EP1513193 Art A1 9. März 2005

Anmelder: SUMCO CORPORATION, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1513193
Aktenzeichen: EP03780972
Anmeldetag: 19. Dezember 2003
Veröffentlichung: 9. März 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/322H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SUMCO CORPORATION
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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