Reinigungsflächengebilde, Trägerglied mit Reinigungsfunktion und Verfahren zur Reinigung von Diese Umfassenden Substratprozessoren

EP1514615 Art B1 5. Mai 2010

Anmelder: NITTO DENKO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1514615
Aktenzeichen: EP02743650
Anmeldetag: 19. Juni 2002
Veröffentlichung: 5. Mai 2010
Erteilung: 5. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: B08B1/00H01L21/68H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NITTO DENKO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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