Entwicklerlösbare Metallalkoxidbeschichtungen für Mikroelektronische Anwendungen

EP1516226 Art B1 16. März 2016

Anmelder: Brewer Science Inc., Brewer Science, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1516226
Aktenzeichen
EP03739224
Anmeldetag
18. Juni 2003
Veröffentlichung
16. März 2016
Erteilung
16. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03C1/735G03C1/825G03C1/835G03F7/09G03F7/20G03F7/30G03F7/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Brewer Science Inc.
Brewer Science, Inc.
Land
🇺🇸 USA

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