Vorrichtung und Methode zum Messen oder Anwenden einer Thermischen Ausdehnungs-/schrumpfungsrate
EP1517136
Art A3
30. März 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1517136
- Aktenzeichen
- EP04255482
- Anmeldetag
- 10. September 2004
- Veröffentlichung
- 30. März 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/20G01N25/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Jones, Keith William
Glasgow, Großbritannien
661
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Fachgebiete
23
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