Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517188
Art A3
4. Mai 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holdings N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1517188
- Aktenzeichen
- EP04255638
- Anmeldetag
- 16. September 2004
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
ASML Holdings N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Weenink, Willem
Veldhoven, Niederlande
78
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Leeming, John Gerard
NoneLondon