Thermischgesprühte, Yttriumoxyd Enthaltende Beschichtung für Plasmareaktoren

EP1518255 Art B1 8. Februar 2012

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1518255
Aktenzeichen
EP03737030
Anmeldetag
12. Juni 2003
Veröffentlichung
8. Februar 2012
Erteilung
8. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Diehl, Hermann, Dr. Dipl.-Phys München, Deutschland
62
Patente gesamt
23
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Medizintechnik & Gesundheit Metallurgie & Oberflächentechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Akustik, Musik & Datenspeicherung
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen