Kompensation Periodischer Fehler in Interferometriesystemen
EP1520151
Art B1
10. Oktober 2018
Anmelder: ZYGO CORPORATION, Zygo Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1520151
- Aktenzeichen
- EP03763176
- Anmeldetag
- 8. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2018
- Erteilung
- 10. Oktober 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ZYGO CORPORATION
Zygo Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Siegert, Georg, Dr
München, Deutschland
47
Patente gesamt
22
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Epping - Hermann - Fischer
Epping - Hermann - Fischer · München